COSMOS XPS-7 便携式氯气侦测器(CL2:0-30ppm)
COSMOS XPS-7 便携式氯气侦测器(CL2:0-30ppm):用途
- ◈半导体工厂/石油化学工厂等
- ◈在使用半导体材料气体/乙二氯二氢硅气体 的现场进行泄漏检测

COSMOS XPS-7 便携式氯气侦测器(CL2:0-30ppm):特 点
对象气体一览表(XPS-7/XPS-7Ⅱ)
型 号 |
气 体 |
满量程 |
XDS-7NH |
NH3氨气 |
100ppm |
XDS-7SH |
SiH4甲硅烷 |
25ppm |
XDS-7DC |
SiH2Cl2二氯二氢硅 |
25ppm |
XDS-7AH |
AsH3砷化氢 |
250ppb |
XDS-7PH |
PH3磷化氢 |
1ppm |
XDS-7BH |
B2H6乙硼烷 |
500ppb |
XDS-7SE |
H2Se硒化氢 |
250ppb |
型 号 |
气 体 |
满量程 |
XDS-7GH |
GeH4锗烷 |
1ppm |
XDS-7CL |
Cl2氯气 |
5ppm |
XDS-7CF |
ClF3三氟化氯 |
1ppm |
XDS-7HC |
HCl氯化氢 |
25ppm |
XDS-7HF |
HF氟化氢 |
10ppm |
XDS-7HB |
HBr溴化氢 |
10ppm |
XDS-7NO |
NO一氧化氮 |
100ppm |
型 号 |
气 体 |
满量程 |
XDS-7HS |
H2S硫化氢 |
50ppm |
XDS-7CO |
CO一氧化碳 |
250ppm |
XDS-7DS |
Si2H6乙二氯二氢硅 |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2铁 |
5ppm |
XDS-7OZ |
O3臭氧 |
1ppm |
XDS-7SD |
SO2二氧化硫 |
10ppm |
XDS-7ND |
NO2二氧化氮 |
10ppm |
XPS-7Ⅱ:支持检测 NF3 的微型便携式气体检测器
型 号 |
检测气体名 |
气 体 |
满量程 |
一段报警 |
二段报警 |
单位 |
XDS-7NF |
三氟化氮 |
NF3 |
100 |
5 |
10 |
ppm |