SC100-SE 高精密匀胶机-油份测定仪

SC100-SE 高精密匀胶机应用

在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

SC100-SE 高精密匀胶机产品优点

· 内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

· 7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

· Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

· 标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

· 采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

· 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。

· 排风和抽气系统位计于载片台之底部（以利于排风效率和匀胶均一性）。

· 透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

SC100-SE 高精密匀胶机性能指标

· 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

· 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

· 转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）

· 旋涂加速度：0-50,000rpm/sEC（空载）

· 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

· 转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

· 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

· 支持wafer尺寸25px-200mm（8”圆晶）

· 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

产品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构

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