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EZ4匀胶机
EZ4外型尺寸小巧，从手套箱过渡舱内方便进出。最大推荐可旋涂4寸圆形底物。
u简单易用
文本显示屏，界面简单易用，清晰的功能按键，方便灵活操作。中英文界面可选择。
u程控操作
可提供单步或多步程序旋涂运行，最多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序。
u性能稳定
工业级直流马达，单片机控制，转轴旋转稳定，重复性好，精度高。
u设计新颖
不易进胶堵胶设计，旋涂内腔易拆卸清理更换。
EZ4匀胶机
产品参数说明：
l耐腐蚀、易清洁注塑内腔，HDPE材料真空吸盘
l耐溶剂性PC材料透明盖，恒定扭矩定位功能
l文本显示器，按键控制，中英文可选
l75W直流无刷电机，单片机控制
l可处理碎片（小于1cm）至4英寸圆晶底物
l转速可控范围：100-9999rpm，转速分辨率：1rpm
l加速度可控范围：100-9999rpm/s
l最大单步步长：3000s，时间分辨率：1s
l可进行多步程序运行，最多可编辑5组5步程序
l宽输入电压适用：AC100-230V输入
EZ4匀胶机产品外型尺寸： 210 (W) * 265 (D) * 213 (H)
EZ4匀胶机产品附件选择：
l标配三种规格载物盘（直径10mm,25mm,55mm）。
l根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式定制载物盘设计加工。
l用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附载物盘。
l旋涂内腔易拆卸，方便废胶清洗，内腔可更换。
l无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选。