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D07-7型B类 气体质量流量控制器质量流量控制器 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7A型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长 用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-7型B类 气体质量流量控制器质量流量控制器 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7A型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长 用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-7型质量流量控制器B类产品
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
D07-7型B类 气体质量流量控制器产品技术指标
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范围 | 2~100%F.S. |
阀类型(及阀初始状态) | |
准确度 | ±1.5%F.S. |
线性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重复精度 | ±0.2%F.S. |
响应时间 | ≤7sEC |
工作温度范围 | 5~45℃ |
工作压差 | 0.1~0.5MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 |
静密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) |
电连接器 | D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale |
动密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯) |
接头选择 | VCR 1/4” |
双卡套 1/4”或&pHi;6、φ3 | |
重量 | 1.1Kg |