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D07-7型B类 气体质量流量控制器
型号:D07-7
订货号:
厂家:七星电子
价格:¥1500.00元/台
区域:北京
      D07-7型B类 气体质量流量控制器质量流量控制器 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7A型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长 用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

      
    D07-7型B类 气体质量流量控制器质量流量控制器 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7A型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长 用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

    D07-7型质量流量控制器B类产品

    标准:

    气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:

    标准温度………………0℃(273.15K)

    标准压强………………101325Pa


    输入和输出:

    输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

    输入设定电压…………0~+5.00V

    输出电压检测…………0~+5.00V

    满量程流量范围(N2 5SCCM~10SLM
    控制范围 2~100%F.S.
    阀类型(及阀初始状态)  
    准确度 ±1.5%F.S.
    线性 ±0.5~1.5%F.S.
    重复精度 ±0.2%F.S.
    响应时间 ≤7sEC
    工作温度范围 5~45℃
    工作压差 0.1~0.5MPa
    耐压 3MPa
    漏气率 1×10-8atm.cc/sec He
    通道湿材料 316L不锈钢、密封材料
    静密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶)
    电连接器 D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale
    动密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯)
    接头选择 VCR    1/4”
    双卡套   1/4”或&pHi;6、φ3
    重量 1.1Kg
    暂无信息
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