更换硅烷检测仪传感器单元就可以检测硅烷检测仪气体，
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
· 适带有气体采样流量自动控制功能
· LCD显示，现场状态一目了然
· 实现小型、轻量化
· 可简单地更换传感器和采样气路
· 带有防止传感器单元错误插入的功能
· 可以设定多样的维护模式
· 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等
· 实现了用PDA读取数据
· 符合CE规格，SEMI规格
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型号 |
PS-7 |
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标准型 |
附带转换器组件型 |
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检测原理 |
按检测气体不同分为：定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式、热分解+定电位电解式 |
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采样方式 |
泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制） |
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采样配管 |
特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 |
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气体浓度显示 |
液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图 |
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报警接点 |
•气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 |
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外部输出 |
气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位） |
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适合电缆线 |
控制用屏幕电缆线（&pHi;8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露） |
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使用电源 |
DC24V±10% |
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消耗电力 |
约7w |
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尺寸 |
•W62xH124xD143mm(除去突起物) |
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重量 |
约1.0kg |
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安装方法 |
壁挂式 |