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PS-7半导体材料气体检测部
规格
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特点 |
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|
带有气体采样流量自动控制功能 |
|
|
LCD显示，现场状态一目了然 |
|
|
实现小型、轻量化 |
|
|
可简单地更换传感器和采样气路 |
|
|
带有防止传感器单元错误插入的功能 |
|
|
组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等 |
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|
实现了用PDA读取数据 |
|
|
符合CE规格，SEMI规格 |
|
规格
|
型号 |
PS-7 |
|
标准型 |
附带转换器组件型 |
|
检测原理 |
•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 •热分解+定电位电解式 |
|
采样方式 |
泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制） |
|
采样配管 |
特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 |
|
气体浓度显示 |
液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图 |
|
报警接点 |
•气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 •流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 •传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示 |
|
外部输出 |
气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位） |
|
适合电缆线 |
控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露） |
|
使用电源 |
DC24V±10% |
|
消耗电力 |
约7w |
|
尺寸 |
•W62xH124xD143mm(除去突起物) •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物) |
|
重量 |
约1.0kg |
|
安装方法 |
壁挂式 |
PS-7半导体材料气体检测部
规格
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特点 |
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带有气体采样流量自动控制功能 |
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LCD显示，现场状态一目了然 |
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实现小型、轻量化 |
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|
可简单地更换传感器和采样气路 |
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|
带有防止传感器单元错误插入的功能 |
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可以设定多样的维护模式 |
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组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等 |
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|
实现了用PDA读取数据 |
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|
符合CE规格，SEMI规格 |
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规格
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型号 |
PS-7 |
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标准型 |
附带转换器组件型 |
|
检测原理 |
•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 •热分解+定电位电解式 |
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采样方式 |
泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制） |
|
采样配管 |
特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 |
|
气体浓度显示 |
液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图 |
|
报警接点 |
•气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 •流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 •传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示 |
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外部输出 |
气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位） |
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适合电缆线 |
控制用屏幕电缆线（&pHi;8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露） |
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使用电源 |
DC24V±10% |
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消耗电力 |
约7w |
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尺寸 |
•W62xH124xD143mm(除去突起物) •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物) |
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重量 |
约1.0kg |
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安装方法 |
壁挂式 |