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型号:新宇宙式特气检测部 PS-7(半导体工厂用)
特性:专为半导体行业定制,传感器自由更换,维护方便
检测对象:半导体材料气体
检测方式:
特点: |
带有气体采样流量自动控制功能 |
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LCD显示,现场状态一目了然 |
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实现小型、轻量化 |
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可简单地更换传感器和采样气路 |
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带有防止传感器单元错误插入的功能 |
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可以设定多样的维护模式 |
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组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等 |
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实现了用PDA读取数据 |
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符合CE规格,SEMI规格 |
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规格: |
规格 |
型号 |
PS-7 |
标准型 |
附带转换器组件型 |
检测原理 |
•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 |
采样方式 |
泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制) |
采样配管 |
特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 |
气体浓度显示 |
液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图 |
日本新宇宙 PS-7固定式气体检测器(半导体工厂用)
报警接点 |
•气体报警(1段以及二级) 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 |
外部输出 |
气体浓度模拟输出 DC4~20mA(与电源的负极通用) 气体报警接点(1段以及两极) 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 (开路集电极/自动复位) |
适合电缆线 |
控制用屏幕电缆线(&pHi;8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露) |
使用电源 |
DC24V±10% |
消耗电力 |
约7w |
尺寸 |
•W62xH124xD143mm(除去突起物) |
重量 |
约1.0kg |
安装方法 |
壁挂式 |