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XP-703D半导体特殊气体测漏仪(自动吸引式)产品简介:
1、最适合于检测半导体特气的微量泄漏。 2、采用声光报警。
技术参数:
| 型 号 | XP-703D |
| 检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
| 检测原理 | 热线型半导体式 |
| 采样方式 | 自动吸引式 |
| 可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
| 检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
| 应答速度 | 10秒以内 |
XP-703D半导体特殊气体测漏仪(自动吸引式)产品简介:
1、最适合于检测半导体特气的微量泄漏。 2、采用声光报警。
技术参数:
| 型 号 | XP-703D |
| 检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
| 检测原理 | 热线型半导体式 |
| 采样方式 | 自动吸引式 |
| 可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 pH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
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