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通过稀释实现多种气体校正
可存储已设置的气体校正水平和校正顺序
可随时连接多达3个外部气柱
菜单指引的软件操作系统屏,十分便利
可分别在质量流量控制器、臭氧发生器和紫外光度计上执行内部校正
可灵活增加质量流量控制器的数量
操作原理
不同于体积流量测试,质量流量测试并不依赖压力。S-5000型号的空气和气体控制器采用质量流量来准确测试和控制干净空气或气柱的流速,从而得出精确且重复性好的气体浓度。
S-5000的操作很简单,所需的气体校正水平和校正顺序可以编到仪表的存储器中,通过选择存储的编写序号可以启动校正,从而将现场设置仪表校正的时间缩减到最短。此类校正程序很容易删除或修改,以符合用户的具体要求。
操作人员无需进行计算,只需回答S-5000问题:气柱的浓度,零气的流量和所需参数浓度的最终输出,仪表会进行最终的计算,且控制MFC得出需要的浓度。
稀释系统 |
|
流量测试的精确度 |
± 0.25% |
流量控制的重复性 |
± 0.1% |
流量测试的线性 |
± 0.25% |
UV光度计子系统,带臭氧发生器 |
|
臭氧发生器输出 |
40 – 1,000 ppb(在总流量5.0 SLPM情况下,可调) |
标准量程 |
0 – 1 ppm(臭氧的量程0-500ppb) |
精确度 |
0.001 ppm |
电源 |
115/220 VAC 50/60 Hz |
尺寸 |
座台式 17.8×43.5×59.0cm 支架式 17.8×48.0×59.0cm |
优势特征
通过稀释实现多种气体校正
可存储已设置的气体校正水平和校正顺序
可随时连接多达3个外部气柱
菜单指引的软件操作系统屏,十分便利
可分别在质量流量控制器、臭氧发生器和紫外光度计上执行内部校正
可灵活增加质量流量控制器的数量
操作原理
不同于体积流量测试,质量流量测试并不依赖压力。S-5000型号的空气和气体控制器采用质量流量来准确测试和控制干净空气或气柱的流速,从而得出精确且重复性好的气体浓度。
S-5000的操作很简单,所需的气体校正水平和校正顺序可以编到仪表的存储器中,通过选择存储的编写序号可以启动校正,从而将现场设置仪表校正的时间缩减到最短。此类校正程序很容易删除或修改,以符合用户的具体要求。
操作人员无需进行计算,只需回答S-5000问题:气柱的浓度,零气的流量和所需参数浓度的最终输出,仪表会进行最终的计算,且控制MFC得出需要的浓度。
稀释系统 |
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流量测试的精确度 |
± 0.25% |
流量控制的重复性 |
± 0.1% |
流量测试的线性 |
± 0.25% |
UV光度计子系统,带臭氧发生器 |
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臭氧发生器输出 |
40 – 1,000 ppb(在总流量5.0 SLPM情况下,可调) |
标准量程 |
0 – 1 ppm(臭氧的量程0-500ppb) |
精确度 |
0.001 ppm |
电源 |
115/220 VAC 50/60 Hz |
尺寸 |
座台式 17.8×43.5×59.0cm 支架式 17.8×48.0×59.0cm |