测量表面光洁度范围

10-14

工作物镜的数值孔径

0.65

工作距离

0.5mm

仪器的视场

目视：&pHi;0.25mm

照相：0.21* 0.15mm

测微目镜放大倍数

目视：500X

照相：168X

测微目镜放大倍数

12.5X

测微鼓分划值

0.01mm

绿色干涉滤色片波长

λ≈5300Å

半宽度

Δλ≈100Å

工作台升程

5mm

X、Y方向移动范围

≈10mm

旋转运动范围

360˚

仪器标准镜高反射率

≈60%

低反射率

≈4%

可调变压器输入电压

220V

输出电压

4V-6V

仪器外形尺寸

270*160*230mm

仪器重量

5公斤