激光平面干涉仪 PG15-J详细介绍
一、激光平面干涉仪 PG15-J参数
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第一标准平面（A面），不镀膜。 工作直径 |
D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm(λ/30) |
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第二标准平面（B面），不镀膜。 工作直径 |
D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm(λ/20) |
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准直系统 |
D1=Φ146mm |
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工作直径 |
f=400mm |
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测微目镜 |
焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X，视场角2w=40o，成像物镜：I、D=4.5；П、D=7；Ш、D=10，f=16，f=23，f=37 |
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干涉室尺寸 |
深260*宽300*190mm |
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光源规格 |
激光ZN18（He-Ne） |
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外形尺寸 |
长*宽*高 350*400*720mm |
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重量 |
100公斤 |
