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满量程流量范围（N2） |
5SCCM～30SLM |
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控制范围 |
2～100％F.S. |
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阀类型（及阀初始状态） |
电磁调节阀（常闭） |
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准确度 |
≤10SLM |
±1％F.S. |
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＞10SLM |
±2％F.S. |
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线性 |
≤10SLM |
±0.5～1％F.S. |
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＞10SLM |
±2％F.S. |
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重复精度 |
±0.2％F.S. |
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响应时间 |
≤4sec |
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工作温度范围 |
5～45℃ |
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工作压差 |
≤10SLM |
0.1～0.5MPa |
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＞10SLM |
0.1～0.3MPa |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-9SCCSHe |
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密封材料 |
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
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接头选择 |
VCR |
1/4”或φ4hose、φ6hose |
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Swagelok |
1/8”、1/4”或φ3、φ6mm |
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电插头形式 |
DB15 pin（Male） |
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抗电磁干扰 |
CE |
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重量 |
0.95Kg |
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D07-19B质量流量控制器流量计
