G100 系列质量流量控制器
数字式设计简介
G100 系列质量流量控制器标配高精度传感 器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需 的所有基本功能。G100 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展 至 255 台设备同时使用。
G100 质量流量控制器:特点
- ■ 高精度、高分辨率控制
- ■ DC 9-36V 宽电压供电
- ■ 低功率，功率＜2W
- ■ 集成 40 种基础气体种类
- ■ 可自定义 10 种混合气体
- ■ 控制参数自整定功能
- ■ 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
- ■ 宽流量量程范围
- ■ 无安装方向限制
- ■ 具有高重复性和高可靠性
- ■ 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快
- ■ 自带温度补偿，补偿范围 0-50℃
- ■ 内部闭环控制，具有高稳定性
- ■ 小封装尺寸
G100 质量流量控制器:量程及精度简介
- ■ 可用量程:最大 0-20slpm,最小 0-10sccm,常备量程请参考选型表
- ■ 量程比：100:1
- ■ 满量程精度：±0.5%
- ■ 读取精度：±1%
- ■ 可重复性：±0.5%FS
- ■ 响应时间：＜100ms（调节 PID 控制参数可缩 短响应时间）
G100 质量流量控制器:应用领域
- ■ 气相和液相色谱仪
- ■ 半导体工艺
- ■ 环境监测设备
- ■ 微反应装置及材料制备实验装置（CVD）
- ■ 气体发生器
- ■ 配气混气系统
G100 质量流量控制器:功能介绍
| 功能 | 说明 |
| 流量控制 | 可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制。 |
| 累计流量 | 可通过 Modbus-RTU 协议读取累计流量。 |
| 多种量程选择 | 最小量程 50sccm，最大量程 50slpm。 |
| 内置 40 种基本气体 | 内置 40 种基本气体，气体种类可定制。 |
| 10 种自定义混合气 | 可根据使用需求，自定义混合气。 |
| 数字控制 | 使用 RS-485 通信控制。 |
| 标准 Modbus-RTU | RS-485 通信采用标准 Modbus-RTU 通信协议。 |
| 参数自整定 | 控制参数可通过协议或按键实现自动调整到最佳 PID 控制参数。 |
| 设定值记忆功能 | 开启该功能后，MFC 可记录断电前最后一次设定值，再次通电直接执行该设定值。 |
| 阀控功能 | 可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能。 |
| 多台设备串联 | 通过更改通信地址，最大可实现 255 台设备串联控制。 |
| 自定义波特率 | 可通过 Modbus-RTU 设置自定义波特率。 |
| 通信协议兼容原型号（GT130D/GT180）设定流量和读取流量 | |
G100 质量流量控制器:技术参数
| 运行参数 | |
| 读数精度 | ±1% Rdg |
| 满量程精度 | ±0.5% FS |
| 重复性 | ＜±0.5% FS |
| 零点漂移和满量程漂移 | ＜±0.02% FS/℃/Atm |
| 量程比 | 100:1 |
| 典型响应时间 | ＜100 毫秒（可调节 PID 参数达到更短时间> |
| 启动预热时间 | ＜1 秒 |
| 标准工况 | 20℃&101.325kPa（标准工况温度可通过 RS485 调整） |
| 耐压 | 1 MPa |
| 安装方向要求 | 无 |
| 电气参数 | |
| 工作电压 | DC 9V-36V±10% |
| 功率 | ＜2W |
| 数字控制信号 | RS-485 Modbus-RTU / 按键操作 |
| 电信号接口 | 1×4P 2.54mm 间距带锁接头 |
| 物理参数 | |
| 阀门 | 比例阀（常闭） |
| 通过介质 | 气体 |
| 工作温度 | 0-50℃ |
| 传感器温度补偿范围 | 0-50℃ |
| 工作湿度 | 0-100%（非冷凝） |
| 存储温度 | -40~85℃ |
| 泄漏率 | ＜0.020sccm He (压差 150psi) |
G100 质量流量控制器:各量程尺寸
| 流量控制器量程 | 机械尺寸（长×宽×高 mm） | 气路连接接口 |
| 量程 50sccm 至 1slpm | 50×25×50 | M5 |
| 量程 5slpm | 50×25×54 | M5 |
| 量程 10slpm | 50×25×58 | M5 |
| 量程 20slpm | 50×25×64 | M5 |
G100 质量流量控制器:气体种类:基本气体种类
| 非耐腐蚀性流量控制器气体种类 | |||||
| 气体编号 | 化学符号 | 气体名称 | 气体编号 | 化学符号 | 气体名称 |
| 0 | Air | 空气 | 20 | 95%CO2/5%CH4 | Bio5 |
| 1 | N2 | 氮气 | 21 | 90%CO2/10%CH4 | Bio10 |
| 2 | Ar | 氩气 | 22 | 85%CO2/15%CH4 | Bio15 |
| 3 | H2 | 氢气 | 23 | 80%CO2/20%CH4 | Bio20 |
| 4 | He | 氦气 | 24 | 75%CO2/25%CH4 | Bio25 |
| 5 | O2 | 氧气 | 25 | 70%CO2/30%CH4 | Bio30 |
| 6 | CH4 | 甲烷 | 26 | 65%CO2/35%CH4 | Bio35 |
| 7 | CO | 一氧化碳 | 27 | 60%CO2/40%CH4 | Bio40 |
| 8 | CO2 | 二氧化碳 | 28 | 55%CO2/45%CH4 | Bio45 |
| 9 | C2H2 | 乙炔 | 29 | 50%CO2/50%CH4 | Bio50 |
| 10 | C2H4 | 乙烯 | 30 | 45%CO2/55%CH4 | Bio55 |
| 11 | C2H6 | 乙烷 | 31 | 40%CO2/60%CH4 | Bio60 |
| 12 | C3H8 | 丙烷 | 32 | 35%CO2/65%CH4 | Bio65 |
| 13 | iC4H10 | 异丁烷 | 33 | 30%CO2/70%CH4 | Bio70 |
| 14 | nC4H10 | 正丁烷 | 34 | 25%CO2/75%CH4 | Bio75 |
| 15 | N2O | 一氧化二氮 | 35 | 20%CO2/80%CH4 | Bio80 |
| 16 | SF6 | 六氟化硫 | 36 | 15%CO2/85%CH4 | Bio85 |
| 17 | Xe | 氙气 | 37 | 10%CO2/90%CH4 | Bio90 |
| 18 | Ne | 氖气 | 38 | 95%Ar/5%CH4 | C-5 |
| 19 | Kr | 氪气 | 39 | 90%Ar/10%CH4 | C-10 |
| 所有气体可根据使用需求重新定义。 | |||||
| 耐腐蚀型流量控制器气体种类 | |||||
| 气体编号 | 化学符号 | 气体名称 | 气体编号 | 化学符号 | 气体名称 |
| 0 | Air | 空气 | 20 | NH3 | 氨气 |
| 1 | N2 | 氮气 | 21 | H2S | 硫化氢 |
| 2 | Ar | 氩气 | 22 | NO | 一氧化氮 |
| 3 | H2 | 氢气 | 23 | NO2 | 二氧化氮 |
| 4 | He | 氦气 | 24 | C3H6 | 丙烯 |
| 5 | O2 | 氧气 | 25 | SiH4 | 硅烷 |
| 6 | CH4 | 甲烷 | 26 | SO2 | 二氧化硫 |
| 7 | CO | 一氧化碳 | 27 | CH3Br | 溴甲烷 |
| 8 | CO2 | 二氧化碳 | 28 | n-C5H12 | 正戊烷 |
| 9 | C2H2 | 乙炔 | 29 | i-C5H12 | 2-甲基丁烷/异戊烷 |
| 10 | C2H4 | 乙烯 | 30 | C5H12 | 2,2-二甲基丙烷/新戊烷 |
| 11 | C2H6 | 乙烷 | 31 | NF3 | 三氟化氮 |
| 12 | C3H8 | 丙烷 | 32 | 1-Buten | 1-丁烯 |
| 13 | iC4H10 | 异丁烷 | 33 | c-Buten | 顺-2-丁烯 |
| 14 | nC4H10 | 正丁烷 | 34 | t-Buten | 反-2-丁烯 |
| 15 | N2O | 一氧化二氮 | 35 | i-Buten | 异丁烯 |
| 16 | SF6 | 六氟化硫 | 36 | CF4 | 四氟化碳 |
| 17 | Xe | 氙气 | 37 | C2F6 | 全氟乙烷 |
| 18 | Ne | 氖气 | 38 | CHF3 | 三氟甲烷 |
| 19 | Kr | 氪气 | 39 | SiH2Cl4 | 二氯甲硅烷 |
| 所有气体可根据使用需求重新定义。 | |||||
| 自定义混合气体种类 | |||
| 气体编号 | 气体名称 | 气体编号 | 气体名称 |
| 40 | 自定义混合气 0 | 45 | 自定义混合气 5 |
| 41 | 自定义混合气 1 | 46 | 自定义混合气 6 |
| 42 | 自定义混合气 2 | 47 | 自定义混合气 7 |
| 43 | 自定义混合气 3 | 48 | 自定义混合气 8 |
| 44 | 自定义混合气 4 | 49 | 自定义混合气 9 |
| 所有气体可根据使用需求重新定义。 | |||
