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D07-60B型 气体质量流量控制器★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★国际标准机械接头 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等业。
D07-60B型 气体质量流量控制器★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★国际标准机械接头 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等业。
D07-60B型 气体质量流量控制器详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
D07-60B型 气体质量流量控制器产品技术指标
| 满量程流量范围（N2) | 300SLM～2000SLM | |||||
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |||||
| 阀类型（阀初始状态） | 电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀（常闭） | |||||
| 准确度 | ±2％F.S. | |||||
| 线性 | ±1％F.S. | |||||
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |||||
| 响应时间 | ≤10sEC | |||||
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |||||
| 工作压差范围 | （0.25～0.5）MPa (≤1000SLM) （0.4～0.5）MPa (＞1000SLM) |
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| 耐压 | 3MPa | |||||
| 漏气率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
| 通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |||||
| 静密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） | |||||
| 动密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） | |||||
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| 重量 | 6kg | |||||