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D07-19C型 气体质量流量控制器★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★国际兼容 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-19C型 气体质量流量控制器★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★国际兼容 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~5SLM | |||||
控制范围 | 2~100%F.S. | |||||
阀类型(阀初始状态) | 电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀(常闭) | |||||
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重复精度 | ±0.2%F.S. | |||||
温度系数 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ |
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响应时间 | ≤1sEC | |||||
工作温度范围 | 5~45℃ | |||||
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耐压 | 3MPa | |||||
漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |||||
密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |||||
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电插头形式 | DB15 pin(Male) | |||||
抗电磁干扰 | CE | |||||
重量 | 1.2kg |