用于测量毛细管或其它小孔零件的流通能力。
D60-1/ ZM毛细管流量测试仪详细参数
| 指标 | Specifications | |
| 流量测量范围 | 0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM | Flow range |
| 流量测量范围 | ±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2） ±2% F.S.（20SLM~250SLM N2） |
Accuracy of flow |
| 压力测量范围 | 0~0.4, 0~1, 0~1.6 MPa | Pressure range |
| 压力测量精度 | 0.25，0.4级 | Accuracy of pressure |
| 系统单点漏率 | 1×10-7SCCS He | Leak integrity |
| 供电电源 | ~220VAC±10% | Power supply |
| 大功耗 | 15 W | Max consumption |
| 外形尺寸 | 440×260×260mm | Dimension |
| 重量 | 8 Kg | Weight |
