光电VOCs污染处理设备的处理技术方案有哪些？

光电业的蚀vocS 污染刻工序(湿式化学蚀刻)是利用液体化学物质与基质表面的特定材料反应溶出，蚀刻工序产生有机及无机酸共排现象，因此对于光电厂除了常有酸气臭味排放及处理效率，还须同时符合有机物及无机酸排放标准。目前行业内多数采用湿式洗涤搭配酸碱中和设备，对于水溶性佳且解离性高的酸性气体有不错的净化处理效果，但是因为湿式洗涤技术对于低浓度(＜3ppmv)的酸性气体处理效果并不佳，尤其部分酸气的嗅味阈值很低(10ppb)，使用传统的处理设备，无法达到相关标准的要求，也因此经常发生居民投诉的问题。目前采用湿式洗涤设备处理酸性气体，排气风量约600NCMM，无法从根本上解决因酸气所衍生的臭味问题。

光电业VOCs污染处理技术方案
本方案主要为解决湿式洗涤设备排气所产生的臭味问题，因此选择处理技术必须要符合能处理低浓度有机及无机酸气，以及耐高湿度的环境技术，因此若于后端加装一般恶臭处理常用的活性碳吸附设备，将无法达到此废气条件下的性能及寿命要求，因此千实建议采用常温恶臭处理触媒滤材，藉由对于特定吸附材的改质，提升对于酸性气体的吸附能力，也同时具备耐高湿度的操作环境，再搭配线上再生与改质技术，可大幅延VOCS排放长触媒滤材寿命达2年以上，如此即可解决所面临的问题。