品牌:七星电子
型号:D07-9E型 气体质量流量控制器
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D07-9E型 气体质量流量控制器★大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★分流器不易堵塞 ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-9E型 气体质量流量控制器详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA；-15V,400mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
D07-9E型 气体质量流量控制器产品技术指标
| 满量程流量范围（N2) | 20～250SLM | |||||||
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |||||||
| 阀类型（阀初始状态） | 电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀（常闭） | |||||||
| 准确度 | ±2％F.S. | |||||||
| 线性 | ±0.5～2％F.S. | |||||||
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |||||||
| 响应时间 | ≤4sEC | |||||||
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |||||||
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| 耐压 | 3MPa | |||||||
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |||||||
| 通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |||||||
| 静密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） | |||||||
| 动密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） | |||||||
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| 重量 | 2.6kg | |||||||
