品牌:七星电子
型号:D07-15型 气体质量流量控制器
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D07-15型 气体质量流量控制器 ★高稳流型 ★小体积，低波动 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用P20金手指插头 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-15型 气体质量流量控制器详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
D07-15型 气体质量流量控制器产品技术指标
| 满量程流量范围（N2) | 5SCCM～5SLM | |||
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |||
| 阀类型（阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） | |||
| 准确度 | ±1％F.S. | |||
| 线性 | ±0.5～1％F.S. | |||
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |||
| 响应时间 | 1～4sEC | |||
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |||
| 工作压差 | 0.1～0.3MPa | |||
| 耐压 | 3MPa | |||
| 漏气率 | 1×10-8SCCSHe | |||
| 通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |||
| 静密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） | |||
| 动密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） | |||
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| 重量 | 2.6kg | |||
