品牌:新宇宙
型号:XP-703D
规格:检测原理 热线型半导体式 采样方式 自动吸引式 可检测浓度 (单位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5
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新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪 日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)
规格
型 号 |
XP-703D |
检测对象气体 |
半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 |
热线型半导体式 |
采样方式 |
自动吸引式 |
可检测浓度 |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 |
检测表示 |
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 |
10秒以内 |