根据国家相关标准,标准的洁净室内噪声应符合下列要求:
一、动态测试时,洁净室内的噪声级不应超过70分贝。
二、空态测试时,乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝;层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。
注:
①由于技术经济条件限制,或噪声大于70分贝对生产无影响时,噪声级可适当放宽,但不宜大于75分贝;
②上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置(人离开)的测量值。对于变动噪声,则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。
洁净室的噪声频谱限制,应采用倍频程声压级;
洁净室的平、剖面布置,应考虑噪声控制的要求,其围护结构应有良好的隔声性能,并宜使各部分隔声量相接近。
洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备,应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。
洁净室净化空气调节系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外,应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。
净化空气调节系统,根据室内噪声级的要求,风管内风速宜按下列规定选用:
一、总风管为6~10米/秒;
二、无送、回风口的支风管为6~8米/秒;
三、有送、回风口的支风管为3~6米/秒。
洁净室的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求,不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件 。