cosmos XPS-7 台式氯气气体检测器
cosmos XPS-7 氯气气体检测器:用途
- ◈半导体工厂/石油化学工厂等
- ◈在使用半导体材料气体/氯气气体 的现场进行泄漏检测
cosmos XPS-7 氯气气体检测器:特 点
- ◈只需要更换传感器单元就可以检测 各种对象气体
- ◈用盒式传感器单元无需进行气体检 测器校正
- ◈可以大幅度削减成本和维护时间
◈选购品
◈传感器专用通电台（EC-7）
◈请在专用通电台（EC-7）对传感器组件进行通电。 （可挂6台）
对象气体一览表（XPS-7/XPS-7Ⅱ）
| 型 号 | 气 体 | 满量程 |
| XDS-7NH | NH3氨气 | 100ppm |
| XDS-7SH | SiH4甲硅烷 | 25ppm |
| XDS-7DC | SiH2Cl2二氯二氢硅 | 25ppm |
| XDS-7AH | AsH3砷化氢 | 250ppb |
| XDS-7PH | PH3磷化氢 | 1ppm |
| XDS-7BH | B2H6乙硼烷 | 500ppb |
| XDS-7SE | H2Se硒化氢 | 250ppb |
| 型 号 | 气 体 | 满量程 |
| XDS-7GH | GeH4锗烷 | 1ppm |
| XDS-7CL | Cl2氯气 | 5ppm |
| XDS-7CF | ClF3三氟化氯 | 1ppm |
| XDS-7HC | HCl氯化氢 | 25ppm |
| XDS-7HF | HF氟化氢 | 10ppm |
| XDS-7HB | HBr溴化氢 | 10ppm |
| XDS-7NO | NO一氧化氮 | 100ppm |
| 型 号 | 气 体 | 满量程 |
| XDS-7HS | H2S硫化氢 | 50ppm |
| XDS-7CO | CO一氧化碳 | 250ppm |
| XDS-7DS | Si2H6乙二氯二氢硅 | 25ppm |
| XDS-7F2 | F2铁 | 5ppm |
| XDS-7OZ | O3臭氧 | 1ppm |
| XDS-7SD | SO2二氧化硫 | 10ppm |
| XDS-7ND | NO2二氧化氮 | 10ppm |
XPS-7Ⅱ：支持检测 NF3 的微型便携式气体检测器
| 型 号 | 检测气体名 | 气 体 | 满量程 | 一段报警 | 二段报警 | 单位 |
| XDS-7NF | 三氟化氮 | NF3 | 100 | 5 | 10 | ppm |
