一、用途：
BMT-600明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头.本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器. 硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
|
类 别 |
放大倍数 |
视场(mm) |
|
大视野目镜 |
10X |
φ18 |
2.物镜
|
类 型 |
放大倍数 |
数值孔径NA |
工作距离（mm） |
|
长工作距离平场消色差物镜 |
5X(明场) |
0.12 |
18.3 |
|
10X(明暗场) |
0.25 |
8.9 |
|
|
20X(明暗场) |
0.40 |
8.7 |
|
|
40X(明暗场) |
0.60 |
3.7 |
|
|
80X(明场) |
0.80 |
0.96 |
研究型硅片显微镜 BMT-6003.光学放大倍数：50X -- 800X 系统参考放大倍数：50X-5000X
4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台：二层机械移动式(配有快速移动装置) 尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调
9.防霉：特有的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头或日本JVC摄像器
三、系统组成
硅片检测显微镜(BMT-600E): 电脑型：1、硅片显微镜 2、适配镜 3、摄像器(CCD) 4、A/D(图像采集) 5、驱动软件 6、数据线 7、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(BMT-600E)：50--5000倍 （17寸显示器为例）
五、选购件
1.硅片测量软件 2.目镜： 20X 10X(带刻度)
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