一、用途：
BMT-500大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头.是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
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类 别 |
放大倍数 |
视场(mm) |
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大视野目镜 |
10X |
φ18 |
2.物镜
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类 型 |
放大倍数 |
数值孔径NA |
工作距离（mm） |
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物镜 |
4X |
0.10 |
18.3 |
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10X |
0.25 |
8.9 |
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PC20X |
0.40 |
8.7 |
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PC40X |
0.65 |
3.7 |
3.光学放大倍数：40X -- 500X
4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台：(配有快速移动装置)尺寸：400*300mm 移动范围：254*254mm[标配]
7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W卤素灯，亮度可调
9.防霉：特有的防霉系统
10.成像系统:日本专业进口摄像头或500万高像素的数字摄像头
大平台式硅片显微镜BMT-500
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(BMT-500E): 1、硅片显微镜 2、适配镜 3、摄像器(CCD) 4、A/D(图像采集) 5、驱动软件 6、数据线 7、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(BMT-500E)：50--4000倍 （17寸显示器为例）
五、选购件
1.硅片专用测量软件 2.目镜： 20X 10X(带刻度)
