D07-7B型质量流量计产品技术指标
|
满量程流量范围（N2） |
5SCCM～10SLM |
|
控制范围 |
2～100％F.S. |
|
阀类型（及阀初始状态） |
电磁调节阀（常闭） |
|
准确度 |
±1.5％F.S. |
|
线性 |
±0.5～1.5％F.S. |
|
重复精度 |
±0.2％F.S. |
|
响应时间 |
≤7sec |
|
工作温度范围 |
5～45℃ |
|
工作压差 |
0.1～0.5MPa |
|
耐压 |
3MPa |
|
漏气率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
|
通道湿材料 |
316L不锈钢、密封材料 |
|
静密封材料 |
氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） |
|
电连接器 |
D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale |
|
动密封材料 |
氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） |
|
接头选择 |
VCR 1/4” |
|
Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
|
|
重量 |
1.1Kg |
